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基于集成mems的传感器

2022/3/2 11:44:44      点击:

基于集成mems的感器

MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技,其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面,目前主导MEMS市场的传感器已形成产业。用此技术研制的五花八门的微传感器具有体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、易生产、成本低的优势,可以测量各种物理量、化学量及生物量。在市场引导、科技推动、风险投资、政府介入等多重作用下,汽车MEMS传感器发展迅速,现已成为相关部门争先投资开发的热点。在高档汽车中,大约采用25至40只MEMS传感器,技术上日趋成熟完善,可满足汽车环境苛刻、可靠性高、精度准确、成本低的要求,极大地推动了电子技术在汽车上的应用。